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DENTON超高真空镀膜/刻蚀系统
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ALOX湿法氧化系统
LOGITECH精密材料表面处理系统
SENTECH等离子沉积、刻蚀系统
AP&S湿法处理系统
详细说明

Voyager-DLC

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  • 产品说明

可处理直径 8 英寸或以下尺寸的样品
兼容多种口径热阴极/冷阴极离子源
可在大曲面/柔性材料表面沉积 DLC 膜
可选配磁控溅射腔室制备掺杂金属的 Me-DLC 膜
适用于航空航天/精密机械/精密光学/医疗等领域
适用于平面及三维结构
用于研发或批量生产

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