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DENTON超高真空镀膜/刻蚀系统
桌面型溅射/蒸发
磁控溅射
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离子束刻蚀
Infinity LL Etch
Infinity Z-flex Ion Beam Solution
类金刚石镀膜
ALOX湿法氧化系统
LOGITECH精密材料表面处理系统
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AP&S湿法处理系统
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Infinity LL Etch

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  • 产品说明

100mm & 150mm Wafer Processing
Single Wafer Load Lock
22cm RF ICP Gridded Ion Source
Turbopump
6 Channel MFC Gas Manifold
Options
SIMS
CAIBE
RIBE
Target Customers
III-VI Wafer Processing
Superconducting Materials
Applications
FBAR and SAW Trimming
Au and noble metal etch
Superconducting Metal Etch
Hard Material Etch (AlTiC, Oxides)

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