华微电子（香港）有限公司

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Discovery

可处理直径12英寸或以下尺寸的样品
可选配4个或更多溅射靶枪（最多可配10个）
兼容直流/射频/脉冲直流
Intergrity

可处理直径120英寸或以下尺寸的样品
单批最多可处理120片3英寸样品
可选配电子枪/电阻/离子源/OL
Alox湿法氧化系统

Up to 6” wafers : edge exclusion 5 mm
Selective oxidation process
Oxide apertu
IBD&IBE

Ion Beam Etch
Ion Beam Deposition
IBE + IBD
Hardware Specific
PM6
LP70

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All Products

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