24小时服务热线：

159-0186-4404

华微电子（香港）有限公司

Unique Microelectronics (Hongkong)Limited

首页 >> 产品中心 >>DENTON超高真空镀膜/刻蚀系统 >>磁控溅射 >>Explorer >> Explorer
产品中心
DENTON超高真空镀膜/刻蚀系统
桌面型溅射/蒸发
磁控溅射
Explorer
Discovery
Phoenix
Cluster
电子束/热蒸发
离子束溅射
离子束刻蚀
类金刚石镀膜
ALOX湿法氧化系统
LOGITECH精密材料表面处理系统
SENTECH等离子沉积、刻蚀系统
AP&S湿法处理系统
详细说明

Explorer

收藏
  • 产品说明

可处理直径8英寸或以下尺寸的样品  
可根据工艺需求选用多种不同尺寸炉腔组合
兼容直流/射频/脉冲直流电源并自动切换
可选配工件台加热/水冷/液氮冷却/自由调温等控温方式
 兼容共焦（CON-FOCAL）/垂直（VERTICAL）溅射方式
自动三维角度可调水冷/加热工件台
手动或者自动进样，支持casste多片进样

相关产品
技术支持： 文韬互联科技 | 管理登录
×
seo seo