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  • 产品说明

可处理直径120英寸或以下尺寸的样品
单批最多可处理120片3英寸样品
可选配电子枪/电阻/离子源/OLED源等沉积方式
兼容穹顶式/行星式/克努增式/自动可翻转式挂具
可选配单探头/双探头/六探头晶控和光控
可选配SPEEDFLO/RGA/椭偏仪等在线监控系统
激光棒端面(LASER BAR)专用镀膜设备
铟(Indium)蒸发专用镀膜设备

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