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  • 产品说明

可处理直径12英寸或以下尺寸的样品
可选配4个或更多溅射靶枪（最多可配10个）
兼容直流/射频/脉冲直流电源并自动切换
可选配工件台加热/水冷/液氮冷却/自由调温等控温方式
兼容共焦（CON-FOCAL）/垂直（VERTICAL）溅射方式
可用于双面/三维样品溅射
手动或自动进样，支持多片Casste进样

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