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Infinity LL Etch
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详细说明

IBD&IBE

产品说明

Ion Beam Etch
Ion Beam Deposition
IBE + IBD
Hardware Specification
200mm Substrate Stage With Tilt and Rotation
Manual Loading, 1 Wafer/Carrier Per Run
6 Channel Gas Manifold
Options
SIMS
Optical Monitor
Target Customers
Universities
Labs
R&D Departments