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产品中心
DENTON超高真空镀膜/刻蚀系统
桌面型溅射/蒸发
磁控溅射
电子束/热蒸发
离子束溅射
Infinity IBS System
Infinity Biased Target Module
离子束刻蚀
类金刚石镀膜
ALOX湿法氧化系统
LOGITECH精密材料表面处理系统
SENTECH等离子沉积、刻蚀系统
AP&S湿法处理系统
详细说明

IBS

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  • 产品说明

可处理直径 8 英寸或以下尺寸的样品
兼容多种口径热阴极/冷阴极离子源
兼容离子束溅射/刻蚀功能
可选配工件台加热/水冷/自由调温等控温方式
可选配单探头/双探头/六探头晶控
可选配 SPEEDFLO/RGA/椭偏仪等在线监控系统
自动三维角度可调水冷/加热工件台
单片/多片自动进样室
SECS/GEM 通讯接口

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