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  • 产品说明

系统可用于大批量生产
可处理边长20英寸或以下尺寸的样品
 可选配4个或更多溅射靶枪（最多可配6个）
 兼容直流/射频/脉冲直流电源并自动切换
 兼容离子源刻蚀/射频工件预清洗
 连续式沉积方式

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