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CB II

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  • 产品说明

智能晶圆盒定位系统，可快速方便地更换不同类型的晶圆盒和笼子。
易于加载，包括装载和卸载
通过最新软件技术进行工艺控制
适用于内部跟踪系统
占用空间小：CB II 1560 x 1900 x 2510 mm；CB III 1865 x 1685 x 2860 mm
Cleanstep II 装载量：8 个片盒和 8 个花篮
Cleanstep III 装载量：8 个 SMIF 片盒和 和8个花篮；8 个 FOUP 片盒和8个花篮

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